Pamatojoties uz to darbības principiem, spiediena sensorus var iedalīt vairākos veidos, tostarp keramikas kapacitatīvos, metāla kapacitatīvos, plānās -plēves deformācijas mērītājos, deformācijas sensoros, silīcija pjezorezistīvos, silīcija kapacitatīvos un silīcija rezonanses tipos. No tiem rezonanses spiediena sensori piedāvā visaugstāko precizitāti, sasniedzot precizitāti līdz 0,01% FS visā temperatūras diapazonā (-40 grādi līdz 85 grādi). Pateicoties to izcilajai precizitātei, tos plaši izmanto lietojumos, kuros nepieciešama ārkārtīgi augsta spiediena precizitāte, piemēram, okeāna dziļuma mērīšanā, spiediena atskaites standartos, gaisa kuģu lidojuma parametru mērīšanā un meteoroloģiskajā uzraudzībā. Iemesli, kāpēc silīcija rezonanses spiediena sensori nodrošina tik augstas precizitātes spiediena mērījumus, ir šādi:
1. Silīcija rezonanses spiediena sensora galvenā struktūra ir simetrisks divkāršs-skavas silīcija rezonators. Rezonatora rezonanses frekvence mainās līdz ar spiedienu. Tā kā frekvence ir cietām vielām raksturīga īpašība, tā ir mazāk jutīga pret zemas-frekvences troksni un uzrāda minimālas temperatūras svārstības. Šis dabiskais filtrēšanas efekts rada augstu signāla-pret{7}}trokšņu attiecību.
2. Divkāršā-rezonatora struktūra nodrošina, ka rezonatoram vibrējot, tīrais ārējais spēks ir nulle. Turklāt MEMS anodiskās savienošanas tehnoloģijas izmantošanas dēļ viss rezonators darbojas vakuuma vidē, panākot augstu kvalitātes faktoru.
3. Projektēšanas procesa laikā rezonatora termiski jutīgajās zonās tiek iestrādātas sprieguma mazināšanas struktūras, lai samazinātu termisko spriegumu. Tas ievērojami samazina rezonatora termisko spriegumu.
Xi'an Mihui Technology silīcija rezonanses spiediena sensoru produkti nodrošina augstas{0}}precizitātes spiediena mērījumus ar 0,01% FS precizitāti visā temperatūras diapazonā. Tie piedāvā nepārspējamu gada stabilitāti 0,01% FS un atbalsta gan frekvences izvadi, gan RS485 digitālo izvadi. Šie sensori aptver absolūtā spiediena mērījumus no 100 kPa līdz 1 MPa. Specifikācijas ir šādas:
Ieinteresētās personas ir laipni aicinātas sazināties ar mums, izmantojot mūsu tīmekļa vietnē sniegto informāciju.
